对叔丁氧基苯乙烯(pTBS)
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对叔丁氧基苯乙烯(pTBS):为对羟基苯乙烯的衍生物之一,是KrF光刻树脂应用最广泛的单体之一,可以满足树脂定制化需求。
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产品描述
对叔丁氧基苯乙烯
对叔丁氧基苯乙烯(pTBS):为对羟基苯乙烯的衍生物之一,是KrF光刻树脂应用最广泛的单体之一,可以满足树脂定制化需求。
CAS号:95418-58-9
产品规格
产品名(Product Name) | 对叔丁氧基苯乙烯(pTBS) | ![]() |
分子式(Formula) | C12H16O | |
分子量(Formula weight) | 176.25 g/mol | |
外观性状 (Appearance) | 无色液体 Colourless liquid | |
纯度 (Purity/GC) | ≥99.5% | |
阻聚剂(Polymerization inhibitor) | 定制化添加 | |
含水量 (Water Content) | 0.05% | |
金属含量(Metal Content) | ≤1ppb | |
有机物(TOC) | N/A | |
阴离子(Anion) | N/A | |
包装(Package) | 5L、25L、200L |
关键词:
光刻胶单体
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