丙二醇单甲醚乙酸酯（PGMEA）
类别:
丙二醇单甲醚乙酸酯（PGMEA）：无色、透明、易挥发的液体有机溶剂，主要用于半导体制造过程中的光刻工艺。在光刻工艺中，PGMEA被用作显影剂的稀释剂和清洗剂，用于清洗半导体器件表面的残留物和污垢。
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产品描述
PGMEA
丙二醇单甲醚乙酸酯（PGMEA）：无色、透明、易挥发的液体有机溶剂，主要用于半导体制造过程中的光刻工艺。在光刻工艺中，PGMEA被用作显影剂的稀释剂和清洗剂，用于清洗半导体器件表面的残留物和污垢。
CAS号：108-65-6
产品规格
| 产品名(Product Name) | 丙二醇单甲醚乙酸酯 (PGMEA) |
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| 分子式(Formula) | C6H12O3 | |
| 分子量(Formula weight) | 132.16 g/mol | |
| 外观性状 (Appearance) | 无色液体 Colourless liquid | |
| 浓度 (Concentration) | ≥99.9% | |
| 含水量 (Water Content) | ≤0.05% | |
| 等级（Grade） | G4、G5 | |
| 包装（Package） | 0.5L、4L、20L、200L | |
关键词:
电子级溶剂
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